CCP1 11. Plasma (정의, 생성원리, 활용원리) (1) 정의 고체, 액체, 기체가 아닌 제 4의 상태로 많은 수의 자유전자, 이온 및 중성의 원자 또는 분자로 구성된 이온화된 기체 상태. chamber 내에 중성의 원자나 분자 가스를 넣고, 전자를 가속하여 충돌을 통해 중성의 원자와 분자, 양이온, 전자들이 혼합된 상태로 유지하게 만든 상태. (2) 생성 mechanism 진공 chamber 내에 중성 원자 상태인 Ar gas와 일부 자유전자 주입. 외부에서 높은 주파수의 전계나 자계를 가하여 자유전자 매우 빠른 속도로 가속(가속된 전자=hot electron). hot electron과 부딪혀 Ar원자에서 전자가 분리됨. Ar+이온과 전자가 공존. 충돌하지 않거나 충돌하여도 중성 상태의 Ar 원자로 남아 있는 상태를 radical. 위의 이온, 전자.. 2020. 6. 2. 이전 1 다음